안전교육을 공부한 사람이라면 wet station 안전 교육의 중요성을 알 것입니다. 실험을 진행하며 chemical을 직접 다루는 상황이 많이 발생하는데요. 고위험군 화학 약품을 직접 다룬다는 것은 생명과 직결되어 화학 약품에 대한 정보, wet station 사용 방법 등 숙지해야 할 내용이 많습니다. 따라서 일부 교육에서는 실험 전 시험을 실시하기도 합니다.
오늘은 안전교육에서 강조해 주신 부분들을 정리했습니다. 바로 시작하겠습니다.
MSDS : 물질안전보건자료(Material Safety Data Sheet)
화학 물질을 안전하게 취급하기 위하여 사용자에게 필요한 정보를 제공함으로써 화학 물질에 의한 산업 재해나 직업병을 예방하기 위한 자료로 화학 물질의 이름, 성분, 유해성, 위험성, 보관 방법, 다룰 때의 주의점, 필요한 보호구, 응급조치 등 물질에 관한 여러 가지 정보가 담겨 있다.
GHS (Globally Harmonized System of Classification and Labeling of Chemicals)
화학 물질의 분류와 표시의 기준과 방법을 국제적으로 통일시키기 위해 UN이 주도하여 만든 세계 조화 시스템
대표적인 화학약품
1. IPA (이소프로필알코올, Isopropyl Alcohol)
- 솔벤트, 4류 위험물, (CH3)2CHOH
- 자기 얼룩을 남기지 않고 쉽게 증발하는 성질이 있어 반도체 유기 세정, 수분 제거용으로 활용, 표면 세척
- 주의 : 고인화성 액체 및 증기, 눈에 심한 자극, 호흡기계 자극, 장기간 반복 노출 시 신체 손상
2. 과산화수소 (Hydrpgen Peroxide)
- 강산, 6류 위험물, H2O2
- SPM 세정 용액(유기물 제거)
- 강한 산화력을 가지며 급속한 반응 시 폭발의 위험이 있다. 물과 반응 시 발열
- 피부 화상 주의, 눈 손상 주의, 호흡기 자극 주의, 반복 노출 시 장기 손상 주의
3. 기타 약품 (이 외 기타 약품 반입 시 절차)
1단계) 약품 반입 용도 및 폐액 처리 방법, 약품 회사에서 제공하는 MSDS, 성적서 등 약품 관련 내용을 안전 담당자에게 메일로 전송
2단계) 홈페이지 - 자료실 - 신청양식에서 '화공약품 반입 서약서'를 작성하여(지도 교수님 서명 필수) 장비 운영실로 방문하여 화공약품 반입 스티커 수령
3단계) 발급해 주시는 반입 스티커를 약품에 부착하여 반입
사고 원인/응급조치 요령
1. 피부에 접촉했을 때 : 흐르는 물로 20분간 씻기, 오염된 모든 의복을 즉시 탈의 및 병원으로 이송
2. 눈에 들어갔을 때 : 눈꺼풀을 위/아래로 들어 올리고 세안기를 사용하여 20분 이상 흐르는 물 또는 생리식염수로 세척, 콘택트렌즈 제거 (약품 사용 전 제거 권유) 및 병원으로 이송
Wafer Cleaning (세정 공정)
1. Piranha(SPM_Sulfuric acid Peroxide Mixture)
: 큰 유기 오염물 제거, H2SO4 :H2O2 = 5:1, 120도에서 진행
2. SC1(Standard Clean -1, APM_Ammonia Peroxide Mixture)
: particle과 유기 오염물을 제거, NH4OH : H2O2 : H2O = 1:1:5, 75~90도
3. SC2(Standard Clean -2, HPM_Hydrochloric acid Peroxide Mixture)
: 천이성 금속 오염물 제거, HCl : H2O2 : H2O = 1:1:5, 75~90도
4. DHF(Dilute HF)
: 자연산화막 제거
Wet station 및 약품 사용 규칙
: 환경안전관리 관련 규칙 위반 시 위반자에 대한 제재결정은 운영부장이하며, 벌금 15점과 벌점 15점을 부과
1) Wet station 사용 & 폐액통 처리 관련 작업 시 안전장 구 미착용(앞면보호구, 앞치마, 보호장갑)
2) 폐액분류를 올바르게 하지 않는 행위는 환경안전관리 관련 규칙 위반에 해당
3) Wet station 실험 도중 자리이탈 행위는 환경안전관리 관련 규칙 위반에 해당
Wet station의 구조
1. No Bath type
1) 사용하려는 chemical에 적합한 wet station을 찾는다. -> 장비 밑 폐액통 확인 필수
2) 사용 전 후 Log sheet 작성 (필수 : 잠시 자리 비울 경우도 정리 및 log sheet 작성 후 이탈)
3) 안전장구 착용 (필수: 앞치마, 안전마스크, 안전장갑)
4) 폐액통 확인 및 기준 초과 시 교체 (기준: 산 50%, 솔벤트 80%)
5) 작업 시작
- 전원 on (ws-8 장비는 전원 on 후 light를 따로 켜야 함), 알람이 울리면 Buzz off
- Alarm History 확인 후 조치
- 폐액통 수위 확인
- 폐액은 폐액 주입구 뚜껑을 열어서 붓고 (뚜껑 2단) 주위에 흘러넘치지 않도록 조심.
(폐액이 안 내려갈 경우 에러를 해결하지 않은 것)
6) 작업 완료 후: 폐액통 확인 및 기준 초과 시 교체, 주변 정리 정돈
7) Log sheet 작성, 안전장구 제자리
2. Bath type
1) 사용하려는 케미컬에 적합한 wet station을 찾는다.
2) 해당 wet station과 연결된 로그인 PC에서 사용 로그인
3) 사용 전 후 Log Sheet 작성 (잠시 자리 비울 경우도 정리 및 log sheet 작성 후 이탈)
4) 안전장구 착용(필수 : 앞치마, 안전마스크, 안전장갑)
5) 폐액통을 확인 및 기준 초과 시 교체 (기준: 솔벤트 80%, 산 50%)
6) 작업 시작(상세내용 다음 section 참고)
7) 작업완료 후 폐액통 확인 및 기준 초과시 교체, DI 및 N2 건 제자리, 주변 정리 정돈
8) Log Sheet 작성, 도어 닫기 및 전원 끄기, 안전장구 제자리
※ Bath Type wet station 작업 방법
1. 전원 ON, 알람이 울리면 buzz off
2. 사용하려는 Bath의 에러를 해결
3. Chemical Bath에 담근 후 ‘MONITOR’ 창에서 해당 Bath 타이머 작동 (chemicla 작업 시 테프론 케리어 등 사용)
(+ 사용할 Bath 가 비어 있다면 테프론 비커 등을 사용하여 용액을 제조, 용액 제조 비율은 장비에 붙어있음 , 비커는 DI로 헹궈서 사용)
4. 완료되면 바로 앞에 있는 QDR Bath에 옮겨 타이머를 작동
5. 완료되면 SRD(Spin Rinse Dryer)를 돌려 린스 및 건조.
※ 공정 시작 방법(상황 : 온도 비정상, 약액 수위 정상 HEATER: Heater 가동, 다른 버튼 작동 금지 화면)
1) 해당 Bath의 모든 에러를 해결
2) MAIN MENU MONITOR 해당 Bath 아래 숫자 클릭
(ex. 3) 600 초가 0 초가 되면 공정 종료 및 알람 울림 (Drain Cnt 1 깎임)
참고) DRAIN CNT: 약액 Drain까지 남은 횟수, 공정완료 시 1 씩 깎임, 0 이 되면 Bath 가 자동으로 Drain,
(사용 방문 시 Bath 가 비워져 있으면 이전 사용자가 카운트 0으로 사용한 것으로 용액 제조해서 사용해야 함, Drain Count 1 이면 반드시 아래 폐액통 수위 확인)
※ SRD (Spin Rinse Dryer 사용 방법)
1. 홈의 크기를 보고 4 인치 전용인지 6 인치 전용인지 확인
2. 문을 열어 테프론 케리어 그대로 넣어준다.
참고) 반드시 테프론 케리어만 사용 ( 문쪽이 케리어 앞면 막혀 있는 면 , SRD 안쪽이 뒷면 뚫려 있는 면)
3. 문을 닫고 Reset Start 차례로 누른다
4. 완료되면 수거
주의 사항) 반드시 테프론 케리어를 정방향에 넣고 Start 버튼 눌러야 함.
(케리어를 안 놓고 돌리거나 테프론이 아닌 재질로 사용하여 장비의 로터가 고장 날 시 수리비 청구)
폐액통 교체 방법
1) 교체할 폐액의 이름을 확인하고 C1 안쪽 Back Room으로 이동
2) 빈 폐액통(교체할 폐액 전용 스티커 사진을 붙인다.)과 새 뚜껑을 폐액 전용 카트에 싣고 교체할 장소로 이동한다
3) 안전장구를 착용
4) Wet station 하단의 폐액통 카트를 꺼낸다
5) Wet station과 연결된 가득 찬 폐액통의 뚜껑을 열어 빈 폐액통에 끼워준다
- -> Wet station 과 연결된 뚜껑은 장비와 연결된 밸브 뚜껑으로 케미컬이 흐른다, 조심하여 빈 폐액통으로 끼워준다.
6) 가져온 새 뚜껑을 가득찬 폐액통에 끼워 닫아준다
7) 가득찬 폐액통은 가져온 카트에 새 폐액통은 Wet station 폐액통 카트 자리에 둔다
8) 교체한 Wet station 폐액 카트는 끝까지 밀어준다. (끝까지 안 밀면 ‘Bottle Detect 에러 발생)
9) 가득찬 폐액통은 다시 Back 룸으로 끌고 간다.
10) 가득찬 폐액통에 폐액 전표를 작성 후 붙여준다.
11) 주변을 정리하고 안전장구를 벗는다.
12) Wet station 로그시트에 관련 내용을 작성한다.
간단하게 wet station 교육에서 강조한 부분들을 알아보았습니다. 도움이 되셨나요?
반도체 공정실습이나 교육을 수강할 계획이라면 미리 공부하는 것도 공정 엔지니어로서 준비하는데 많은 도움이 되리라 생각합니다. 오늘도 예비 엔지니어분들 파이팅입니다.
